Ti膜+Cu膜

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3インチTi膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7550-07, 54-7550-08, 54-7550-09 他

20種類の製品があります

標準価格：284,000円〜

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4インチTi膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7550-27, 54-7550-28, 54-7550-29 他

30種類の製品があります

標準価格：287,000円〜

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5インチTi膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7550-57, 54-7550-58, 54-7550-59 他

30種類の製品があります

標準価格：298,000円〜

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6インチ（JEIDA規格）Ti膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7550-87, 54-7550-88, 54-7550-89 他

30種類の製品があります

標準価格：298,000円〜

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6インチ（SEMI規格）Ti膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7551-18, 54-7551-19, 54-7551-20 他

30種類の製品があります

標準価格：298,000円〜

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8インチTi膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7551-48, 54-7551-49, 54-7551-50 他

30種類の製品があります

標準価格：305,000円〜

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2インチTi膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7549-86, 54-7549-87, 54-7549-88 他

20種類の製品があります

標準価格：310,000円〜

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12インチTi膜+Cu膜付ウェハシリコンウェハスパッタ成膜

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板
研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板

54-7551-78, 54-7551-79, 54-7551-80 他

20種類の製品があります

標準価格：444,000円〜

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