仕様

• サイズ（インチ）×伝導型：2×N型
• OF長さ（mm）×ウェハー厚（μm）：17.5±2.5×280±25
• 入数：1箱（25枚入）
• 製造方法：CZ法
• 面方位：100
• OF位置：110
• 抵抗値：0.1～100Ω・cm　※低抵抗：≦0.02Ω・cm、高抵抗：≧500Ω・cm
• パーティクル：≧0.3μm、10個以下
• ※特注対応品：
• 方位（切断角度）、OF位置角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
• 多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
• ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
• 8インチ、12インチに関しては随時お問い合わせください（最低単位25枚）。
• ※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
• RoHS2 (EU)2015/863 対応　[RoHSについて]
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